近日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”）的董事会秘书柴心明以电话会议的方式接待56家机构的调研。其中博时基金、富国基金、鹏华基金等16家基金管理公司；广发证券、中信证券、国元证券等10家证券公司；华泰资产、泰康资产管理有限责任公司、中国人保资产管理有限公司3家保险资产管理公司陆续“入场”。而近六个月来，至纯科技的最高点出现在7月10日，股价为63.5元/股，截至12月17日，至纯科技的收盘价为39.18元/股。

2020年三季度，至纯科技实现的营业收入为7.6亿元，同比增长24.15%；实现的净利润为0.83亿元，同比10.76%。其业绩增长背后，至纯科技或存诸多问题待解。不仅长年处于“失血”状态、毛利率下滑，至纯科技下游客户受疫情影响，其订单全年进度有所滞后。以此同时，至纯科技没有实现年产48台湿法设备的目标，目前离预定规划还有一段距离。

一、56家机构调研现16家基金公司，毛利率下滑长年处于“失血”状态

近日，至纯科技的董事会秘书柴心明以电话会议的方式接待56家机构的调研。其中，博时基金、富国基金、鹏华基金等16家基金管理公司对其进行调研；广发证券、中信证券、国元证券等10家证券公司对其进行调研；华泰资产、泰康资产管理有限责任公司、中国人保资产管理有限公司3家保险资产管理公司对其进行调研。

机构调研当日，即12月14日，至纯科技的收盘价为39.31元/股，12月15日收盘价为37.86元/股，12月16日收盘价为38.45元/股。截至12月17日，至纯科技的收盘价为39.18元/股。

（图片来源：同花顺iFinD，数据截至2020年12月17日）

而近六个月来，至纯科技的最高点出现在7月10日，股价为63.5元/股，随后股价呈震荡走低的趋势。

回顾其历史，至纯科技成立于2000年11月13日，随后于2017年1月13日登陆上海证券交易所，其主营业务主要包括高纯工艺系统的设计、制造和安装调试；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售。

观其营业收入构成情况。据东方财富Choice数据，2016-2018年，至纯科技的营业收入均来自高纯工艺系统，高纯工艺系统的销售收入分别为2.63亿元、3.69亿元、6.74亿元。

到了2019年，至纯科技的营业收入主要来源于高纯工艺集成系统、光传感及光器件、半导体设备，销售收入分别为6.37亿元、2.65亿元、0.82亿元，占当期营业收入的比例分别为64.57%、26.82%、8.28%。

从销售区域来看，至纯科技的营业收入主要来源于华东地区。

2017-2019年，至纯科技来源于华东地区的销售收入分别为2.68亿元、6.15亿元、5.93亿元，占营业收入的比例分别为72.63%、91.18%、60.15%。

观其业绩，2015-2019年，至纯科技的营业收入分别为2.08亿元、2.63亿元、3.69亿元、6.74亿元、9.86亿元，2016-2019年分别同比增长26.89%、40.18%、82.64%、46.34%。

同期，至纯科技实现的净利润分别为0.18亿元、0.45亿元、0.49亿元、0.32亿元、1.1亿元，2016-2019年分别同比增长156%、8.79%、-34.19%、239.88%。

到了2020年三季度，至纯科技实现的营业收入为7.6亿元，同比增长24.15%；实现的净利润为0.83亿元，同比10.76%。

值得注意的是，至纯科技连续四年处于“失血”状态。

2015-2019年，至纯科技的经营活动产生的现金流量净额分别为209.8万元，-1,841.85万元、-6,820.48万元、-5,282.97万元、-11,094.34万元。

与此同时，至纯科技毛利率呈下滑趋势。

同期，至纯科技的销售毛利率分别为39.73%、37.73%、39.02%、28.19%、34.35%。

2015-2019年，至纯科技扣非后加权平均净资产收益率分别为6.57%、12.74%、10.83%、6.82%、8.29%。

二、湿法设备产能未达标，下游客户订单全年进度滞后

从至纯科技机构调研的内容可知，目前，国内还没有14nm及以下的应用场景，而国内主流客户基本都是12寸28nm。能做到14nm仅中芯国际，该条线设备以外购为主，至纯科技并未对14nm制程设备做研发，第二条线才会考虑国产设备以降低成本。

此外，关于其订单情况，往年11、12月为项目收尾、客户付尾款的阶段，而至纯科技下游客户受疫情影响，现在还在开标，全年进度有所滞后。与此同时，至纯科技湿法设备的产能未达到产48台的目标，目前离预定规划还有一段距离。

1、请介绍一下公司的湿法设备业务湿法设备应用于芯片制造的多个工序，包括刷洗、湿法刻蚀、湿法清洗、去胶等，分类包括8寸12寸、槽式单片、普通工艺和特殊工艺等，可以做到上百种工艺设备。

公司于今年上半年交付华虹集团ICRD的单片式设备属于减薄的特殊工艺，目前完成认证的还有高温硫酸工艺，填补了国内空白；公司还有其他型号的设备与工艺技术正在认证，具体情况将以认证结果为准。目前从跑片的数据来看，公司设备不输于国外同类产品。制程方面，公司28-65nm的设备都可以做，也有14nm的技术储备，公司采用精准研发模式，与下游客户深入沟通确认后，才会投入研发。但目前国内还没有14nm及以下的应用场景，因此未做研发。国内主流客户基本都是12寸28nm。能做到14nm只有中芯国际，该条线设备以外购为主，第二条线才会考虑国产设备以降低成本。

2、公司湿法设备业务近期的发展情况如何目前槽式和单片式情况都很好。公司的槽式装备供不应求，单片式设备(个位数)处在认证过程中。展望明年，单片式认证符合预期，一旦认证通过可以期待放量。

下半年的订单呈现出井喷状态，公司的湿法设备、高纯工艺系统以及波汇波汇科技的订单情况都不错。往年11、12月都属于项目收尾、客户付尾款的阶段，但是今年客户现在还在开标，主要原因是下游客户受疫情影响，全年进度有所滞后，为了完成全年目标，上半年拖延的资本开支会在四季度补上。

3、公司晶圆再生项目进展如何合肥项目内部装修已进入尾声，经客户或第三方现场验证后就可以流片，流片时间预计会在明年第一季度。项目首期产能计划为7万片月产，年产84万片。合肥项目的产能已基本已被下游客户预定。业务定价将分不同制程、不同客户而有所差异。

相对于境外竞争对手，公司具有成本优势。具体价格还要看前期运营情况、客户接受度等因素而定，要体现国产的性价比优势晶圆再生属于现金流业务，每个晶圆厂都会保留5%-10%再生晶圆能力，另外90%-95%外包。目前国内没有晶圆再生相应业务，都是送到日本台湾进行晶圆再生，来回物流成本接近30%。

公司开展晶圆再生业务，除了CMP设备和良测设备则需要引进，公司原有高纯工艺系统和湿法清洗设备可以直接应用于晶圆再生生产线。项目建成后，将是国内第一条14nm的12寸晶圆再生产线。预计可为当地客户节省30%的物流成本。

4、公司目前湿法设备的产能情况若无疫情影响，今年会满足达产48台的目标。但是疫情受到影响，目前离预定规划还有一段距离。槽式产能仍在赶进；单片有几台在客户处做认证，一旦认证成功就会转为订单，因此单片订单放量需要等到认证通过后。

5、下游需求旺盛的来源下游订单增加主要受到疫情耽搁导致的招标延后，下游产能饱满引致的新增需求二者叠加影响。从去年下半年开始，槽式（主要供应8寸）需求突起。今年虽有疫情，但是下游需求仍然很旺盛，并未因此减少订单，下半年订单反而报复性反弹。

6、外部封锁是否会促使下游客户转向国产设备？

下游客户没有因为封锁而延缓国产化进程。从公司获得的政府补贴和参与的政府项目可以得到参考。

7、公司明年需求的展望从长期来看，公司湿法设备的目标是实现5年200台装机量，今年第三年，目前目标没有改变，我们对此相当有信心。在这200台的装机量中，槽式和单片式的比例需要看客户的具体需求。国内每年装机需求15-25亿美金，向上空间较大，主要看公司能力和产能能否匹配。从明后年的数量上看，还是槽式装备占多数，但是价值量上来看，单片式可能会后来居上。现在湿法设备团队有将近200人，较去年翻了一倍。后面会在晶圆再生业务持续招人，合肥再生晶圆项目一期需要200人左右，实行倒班制。

8、高纯工艺系统的营收中，半导体领域所占的比例有多少目前不完全统计，半导体占比超过60%，高于去年水平。高纯工艺方面，公司会首先维护三星、海力士、台积电、中芯、华虹、长城、长鑫、士兰微等国内外半导体头部客户。在有余力的情况下，公司会服务一些回款比较好的光伏和平板客户。